中山商事では、試薬・理化学機器の専門商社として研究開発・生産活動をトータルサポートさせて頂きます

半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層※1エッチングプロセスで使用するリン酸の
濃度管理を行います。従来は高温のリン酸を冷却し、濃度を測定する必要がありましたが、サンプル測定部にPFA※2
を採用することで、高温のまま薬液の濃度測定を実現しました。これにより、冷却機構および冷却時間が不要と
なるため、半導体製造プロセスの効率化に貢献します。
※1 SiN層：シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜
※2 PFA：耐熱性、耐薬品性に優れているフッ素樹脂の一種

＜主な特長＞
・高温のリン酸（140度～170度）を冷却せずに測定ができるため、冷却機構および冷却時間が不要になりました。
・サンプル接続部にPFAを採用することで、コンタミネーションリスクを低減します。
・3秒ごとに測定データを更新するリアルタイム測定により、制御の高速化を実現しました。
・半年に1度の校正で装置ダウンタイムを大幅に削減します。

• メーカー: (株)堀場アドバンスドテクノ
• 仕様:
  寸法：
  　・サンプルセル 240（W）X 209（D）X 205（H）mm（突起部除く）
  　・モニター本体 200（W）X 308（D）X 78（H）mm（突起部除く）
  　・光源ユニット 200（W）X 262（D）X 100（H）mm（突起部除く）
  
  測定原理：　吸収分光法
  
  薬液温度：　140度～170 度
  
  質量：
  　・サンプルセル 約3.0 kg
  　・モニター本体 約3.6 kg
  　・光源ユニット 約2.8 kg
  
  
• 価格: お問合せ下さい

登録日：2020年6月29日
※価格と仕様は予告なく変更されることがあります。
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