中山商事では、試薬・理化学機器の専門商社として研究開発・生産活動をトータルサポートさせて頂きます

MICROPOLE Systemは、半導体や液晶パネル、太陽電池などの成膜プロセスにおいて、チャンバの全圧及び残留
しているガスの分圧を計測できる質量分析計です。質量検出部には9つの四重極部で構成し、「世界最小クラスの
サイズ」「軽量化」「高圧化・低真空」を実現しています。

＜主な特長＞
・低真空(高圧)域0.9Pa(6.7mTorr)での操作可能、追加の設備が不要
・他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5cmのサイズ
・ユーザーによるセンサ交換可能で休止期間なし
・操作表示用に3.5インチカラーディスプレイ搭載
・PC用ソフトで各種グラフ生成、わかりやすい結果表示

• 価格: お問合せ下さい
• メーカー: (株)堀場製作所

登録日：2012年5月9日
※価格と仕様は予告なく変更されることがあります。
   詳細はこちらからお問い合わせください。