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商品詳細情報

自動薄膜計測装置
Auto SE

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auto se

可視分光エリプソメーターの新機種で、膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。
<特長>
・非破壊・非接触による測定
・1nm-15μmの膜厚/光学定数(n,k)を評価
・単層膜に限らず、多層膜の評価も可能
・100μm角以下の微小領域の測定に対応
・厳密な測定スポット位置の確認が可能
・日本語対応ソフトウェア
・電動XYZステージを標準搭載し、高速面内分布測定を実現

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