可視分光エリプソメーターの新機種で、膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。 <特長> ・非破壊・非接触による測定 ・1nm-15μmの膜厚/光学定数(n,k)を評価 ・単層膜に限らず、多層膜の評価も可能 ・100μm角以下の微小領域の測定に対応 ・厳密な測定スポット位置の確認が可能 ・日本語対応ソフトウェア ・電動XYZステージを標準搭載し、高速面内分布測定を実現
タグ: エリプソメーター, 膜厚計
登録日:2012年4月28日 ※価格と仕様は予告なく変更されることがあります。 詳細はこちらからお問い合わせください。