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商品詳細情報

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
SU9000

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su9000

-最高峰のSEMを最前線に-
低収差レンズの最高峰であるインレンズ対物レンズを搭載したSU9000は、世界最高分解能
*10.4nm(加速電圧:30kV)の実現に加え、低加速電圧領域でも1.2nm(加速電圧
1.0kV)と、飛躍的に分解能が向上しました(日立ハイテク比*225%アップ)。
*1:2011年4月時点
*2:S-5500:1.6nm→SU9000:1.2nm

<特長>
・試料ダメージの軽減などを目的とした低加速電圧観察時の分解能を向上
・新開発の、低収差と高輝度安定プローブ電流を両立したコールドFE電子銃
・コンタミネーションの影響を軽減させた超高真空試料室
・さまざまな設置環境下でも、高いパフォーマンスを実現するための高剛性フレームと
 耐騒音カバー
・ユーザビリティを追求した新ユーザーインターフェイスと24.1型ワイドモニタ

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