商品詳細情報
プラズマリアクター
PR500/510
低温プラズマ、バレル型の定番として歴史が物語る装置です。オートマッチング
機構の標準装備をはじめ、タッチパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・
安全性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理装置です。
特徴
・大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
・発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
・操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
用途
・フォトレジストの除去
・部品の洗浄
・界面活性処理
・マイクロ研磨 ウエーハ、ガラス基板に対応
登録日：2010年10月15日
※価格と仕様は予告なく変更されることがあります。
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