＜紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター＞
先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベスト
な組み合わせを提供します。位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの
広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って
高品質な測定データを採取することができます。

＜特長＞
UVISEL
　波長範囲：210-880nm
　一般的な膜厚測定にご使用いただける標準波長範囲を有したモデル。将来的に近赤外域への拡張が可能。

UVISEL NIR
　波長範囲：260-2100nm
　UVISELモデルよりも高分解能を有する分光器を有し、紫外域～近赤外域までの連続測定を実現したモデル。
　検出波長域の異なる2種類の高感度検出器を搭載（測定中は自動切換）。ナローバンドギャップ材料の評価や
　超厚膜測定などに最適。

UVISEL FUV
　波長範囲：190-880nm
　高度な光学設計により、素晴らしいS/N比のまま190nmまでの紫外域へ拡張したモデル。将来的に近赤外域へ
　の拡張が可能。SAM膜のような超薄膜測定などに最適。

UVISEL ER
　波長範囲：190-2100nm
　UVISEL FUVモデルに近赤外域を拡張し、UVISELシリーズの中で最も広い波長範囲で素晴らしいS/N比を実現
　したモデル。あらゆる応用分野に最適。

可視分光エリプソメーターの新機種で、膜厚計測のルーチンワークに最適な装置です。
＜特長＞
・非破壊・非接触による測定
・1nm-15μmの膜厚/光学定数(n,k)を評価
・単層膜に限らず、多層膜の評価も可能
・100μm角以下の微小領域の測定に対応
・厳密な測定スポット位置の確認が可能
・日本語対応ソフトウェア
・電動XYZステージを標準搭載し、高速面内分布測定を実現